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　　電容式傳感器是以各種類型的電容器作為傳感元件，將被測轉(zhuǎn)物理量或機(jī)械量換成為電容量變化的一種轉(zhuǎn)換裝置，實(shí)際上就是一個(gè)具有可變參數(shù)的電容器。電容式傳感器廣泛用于位移、角度、振動(dòng)、速度、壓力、成分分析、介質(zhì)特性等方面的測量。常用的是平行板型電容器或圓筒型電容器。

　　①溫度穩(wěn)定性好

　　傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān)，但僅取決于電極的幾何尺寸，且具有強(qiáng)度和溫度系數(shù)等機(jī)械性能，空氣的介電損耗很小。綜合考慮，可以合理選擇材料和幾何尺寸。其他因素(因?yàn)闊崃亢艿?，影響很小。電阻傳感器有電阻，通電后會發(fā)熱。電感式傳感器有銅損、渦流損耗等，本身發(fā)熱到零漂移。

　　② 結(jié)構(gòu)簡單，適應(yīng)性強(qiáng)

　　電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡單，易于制造。它在高低溫、強(qiáng)輻射、強(qiáng)磁場等各種惡劣環(huán)境條件下運(yùn)行，適應(yīng)性強(qiáng)，能承受特別大的溫度變化。即使在高壓、高沖擊和過載的情況下也能正常運(yùn)行。它可以測量超高壓和低壓降，也可以測量磁性工件。此外，還可以縮小傳感器的尺寸以滿足一些特殊的測量要求。

　?、?靜電吸引力小

　　由于電容式傳感器的兩個(gè)電極板之間的靜電場，靜電引力或扭矩作用在電極板上。靜電引力的大小與工作電壓、介電常數(shù)和極間距離有關(guān)。一般來說，這種類型的靜電重力很小，只有對壓力較小的彈性敏感元件才需要考慮靜電重力引起的測量誤差。

　?、軇?dòng)態(tài)響應(yīng)好

　　因?yàn)殡娙輦鞲衅鞯臉O板之間的靜電吸引力很小(約10-5N)，所需的能量很小，運(yùn)動(dòng)部件可以做得很小很薄，也就是重量就是固有頻率。非常高，具有較短的動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間，并且可以在幾 MHz 的頻率下運(yùn)行，使其特別適用于動(dòng)態(tài)測量。此外，低介電損耗允許以更高的頻率傳輸功率，從而在系統(tǒng)中產(chǎn)生更高的工作頻率?？捎糜跍y量振動(dòng)、瞬時(shí)壓力等快速變化的參數(shù)。

　?、?可實(shí)現(xiàn)非接觸測量，效果平均。

　　如果 DUT 無法進(jìn)行接觸測量，則電容傳感器可以完成測量任務(wù)。使用非接觸式測量時(shí)，電容式傳感器具有平均效應(yīng)，可以減少工件表面粗糙度對測量的影響。

　　除上述優(yōu)點(diǎn)外，電容式傳感器在電極和極板之間的靜電吸引力很小，只需要很少的輸入能量，從而產(chǎn)生很低的壓力、力和低測量值，特別適用于能量輸入測量。加速度、位移等可以做得很靈敏很靈敏，你可以感覺到0.001μm以下的位移。